求用椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率的实验数据

椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率 在现代科学技术中,薄膜有着广泛的应用.因此测量薄膜的技术也有了很大的发展,椭偏法就是70年代以来随着电子计算机的广泛应用而发展起来的目前已有的测量薄膜的最精确的方法之一.椭偏法测量具有如下特点: 能测量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2个数量级. 是一种无损测量,不必特别制备样品,也不损坏样品,比其它精密方法:如称重法、定量化学分析法简便

椭圆偏振法测量薄膜厚度,折射率是定性实验还是定量实验

椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率 椭偏法测量的基本思路是,起偏器产生的线根据仪器分析中的方程求解就可以的撒.

如何用椭偏仪测量薄膜厚度及折射率

椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率椭偏法测量的基本思路是,起偏器产生的线偏振光经取向一定的1/4波片后成为特殊的椭圆偏振光,把它投射到待测样品表面时,只要起偏器取适当的透光方向,被待测样品表面反射出来的将是线偏振光.根据偏振光在反射前后的偏振状态变化,包括振幅和相位的变化,便可以确定样品表面的许多光学特性.

用椭偏仪测薄膜的厚度和折射率时,对角度有何要求

会.纳米级的薄膜会有纳米尺寸效应,导致材料性质大变.折射率会变,我看过一篇文献,讲的大致内容是椭偏仪测金属薄膜厚度(<50纳米),虽然能测,但是测不准,因为纳米级金属材料折射率随尺寸影响,你可以去查查.至于消光系数,本人是控制专业的,隔行如隔山,就不知道了!

用椭偏仪测薄膜的的厚度和折射率时,对薄膜有何要求

在现代科学技术中,薄膜有着广泛的应用.因此测量薄膜的技术也有了很大的发展,椭偏法就是70年代以来随着电子计算机的广泛应用而发展起来的目前已有的测量薄膜的最精确的方法之一.

椭偏仪实验为了得到薄膜的真实厚度,为什么要作两次测量

消除由于仪器本身带来的角度误差

等厚干涉牛顿环的误差分析.

系统误差:平凸透镜与平面玻璃接触点有灰尘,引起附加光程差.再就是测量误差

椭圆偏振法测薄膜厚度测量时,投射到样品的入射光的入射角是多少度

椭圆偏振反射测试膜厚区别选用Si3N4薄膜Zr O薄膜两种光材料作测试象研究椭圆偏振测量薄膜厚度精度实验结表明,椭圆偏振精度较高,于数量级几十nm光薄

椭偏能测多厚的薄膜,微小区域的薄膜能测吗?

椭偏可以测试单层膜或者复杂多层膜的厚度以及相应的折射率和消光系数,而且精度和灵敏度都很高,甚至说玻璃上的SiO2都能测试,椭偏测试的厚度范围一般为1A到40微米.对于微小区域的薄膜,可以通过仪器的摄像头观察,将光斑置于该区域来测试,测试区域大小由光斑尺寸决定.据我所知,HORIBA JY椭偏的最小可视光斑尺寸已经达到几十微米了.

椭圆偏振和反射法测试膜厚方法的区别

椭圆偏振和反射法测试膜厚方法的区别选用Si3N4薄膜和Zr O薄膜两种光学材料作为测试对象以研究椭圆偏振法测量薄膜厚度的精度.实验结果表明,椭圆偏振法的精度较高,但对于数量级在几十个nm的光学薄